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前言

中華人民共和國國家標準電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范Code for design of electronic industry clean roomGB 50472-2008主編部門：中華人民共和國工業(yè)和信息化部批準部門：中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部施行日期：2 0 0 9 年 7 月 1 日中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部公告第200號關于

1、總則

1 總 則1.0.1 為在電子工業(yè)潔凈廠房設計中，做到技術先進、經(jīng)濟適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量，并符合勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護的要求，制定本規(guī)范。1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設計。1.0.3 電子工業(yè)潔凈廠房的設計應滿足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，并應根據(jù)具

2、術語

2 術 語2.0.1 潔凈室 clean room空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。2.0.2 潔凈區(qū) clean zone空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其他有關參數(shù)如溫

3、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求

3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求3.1 一般規(guī)定3.1.1 電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設計應根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2 生產(chǎn)環(huán)境設計應根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學品、常用氣

4、總體設計

4 總體設計4.1 位置選擇和總平面布置4.1.1 潔凈廠房位置的選擇，應根據(jù)下列要求經(jīng)技術經(jīng)濟比較后確定：1 應布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域;2 應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或

5、工藝設計

5 工藝設計5．1 一般規(guī)定5．1．1 潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)預留必要的條件。5．1．2 潔凈廠房工藝設計應確定各種生產(chǎn)條件，在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下，應做到安全性能好、建設投資少、能量消耗少、運行費用低、生產(chǎn)效率高。5．1．3 潔凈廠房工藝設計應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)

6、潔凈建筑設計

6 潔凈建筑設計6.1 一般規(guī)定6.1.1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2 潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3 潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的

7、空氣凈化和空調(diào)通風設計

7 空氣凈化和空調(diào)通風設計7.1 一般規(guī)定7.1.1 潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2 氣流流型應根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用。7.1.3 有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設置：1 運行班次或使用時間不

8、給水排水設計

8 給水排水設計8.1 一般規(guī)定8.1.1 潔凈廠房的給水排水干管應敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)，并宜敷設在通行的技術夾層內(nèi)。條件合適時，也可埋地敷設。潔凈室(區(qū))內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無關的管道不應穿過。8.1.2 穿過潔凈室的水管道，應根據(jù)管內(nèi)水溫和所在房間的溫度、濕度確定隔熱防結(jié)露措施。當采取隔熱防

9、純水供應

9 純水供應9.1 一般規(guī)定9.1.1 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設備供應等情況，經(jīng)技術經(jīng)濟比較確定。9.1.2 純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi);潔凈室(區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。9.1.3 穿越潔凈室(區(qū))墻壁、樓板、頂棚的純水管